В эту группу входят хорошо очищенные минеральные масла, применяемые в качестве рабочих жидкостей вакуумных насосов. Масла отличаются узким фракционным составом, малой испаряемостью при данной вязкости, стабильностью против окисления в условиях эксплуатации и при длительном хранении. Вакуумные масла получают разгонкой очищенных масел в вакуумной дистилляционном аппарате. В зависимости от требований вырабатывают масла с пониженным или очень низким давлением насыщенных паров при нормальной температуре. Последние получают при высоком вакууме, обеспечивающем выделение углеводородных фракций с повышенным давлением насыщенных паров при комнатной температуре.