У цю групу входять добре очищені мінеральні олії, що застосовуються як робочі рідини вакуумних насосів. Олії відрізняються вузьким фракційним складом, малою випаровуваністю при даній в'язкості, стабільністю проти окислення в умовах експлуатації та при тривалому зберіганні. Вакуумні олії отримують розгонкою очищених олій у вакуумному дистиляційному апараті. Залежно від вимог виробляють олії зі зниженим або дуже низьким тиском насиченої пари при нормальній температурі. Останні отримують при високому вакуумі, що забезпечує виділення вуглеводневих фракцій з підвищеним тиском насиченої пари при кімнатній температурі.